Tên công cụ: Máy phún xạ ion hoàn toàn tự động Model: ETD-800

Nguyên tắc: Dc phún xạ

Tên công cụ: Máy phún xạ ion Model: ETD-900M

Nguyên tắc: phún xạ magnetron

Trong phún xạ magnetron, quỹ đạo chuyển động của chúng bị uốn cong hoặc thậm chí tạo ra bởi các electron chuyển động chịu lực Lorentz trong từ trường.

Chuyển động xoắn ốc sinh học, đường đi chuyển động của nó trở nên dài hơn, do đó làm tăng số lần va chạm với các phân tử khí làm việc, làm cho mật độ plasma tăng lên, do đó tốc độ phún xạ magnetron được cải thiện rất nhiều, và nó có thể hoạt động ở điện áp phún xạ thấp hơn và áp suất không khí. Trong khi đó, các electron bị mất năng lượng sau nhiều va chạm đến cực dương đã trở thành các electron năng lượng thấp, do đó không làm cho tấm cơ sở quá nóng.

Thông số ETD-800:

Đặc điểm kỹ thuật của máy chính: 260mm × 307 mm × 260mm (W × D × H)

Thông số kỹ thuật nguồn: 220V/50HZ

Mục tiêu (điện cực trên): 50mm × 0,1mm (D × H)

Mục tiêu: Au

Phòng mẫu chân không: Kính borosilicate 115mm × 100mm (D × H)

Hẹn giờ: zui Thời gian dài: 3600S

Máy bơm cơ khí: 1L/S

Điện áp cao: -1200 DCV

Thông số ETD-900M:

Đặc điểm kỹ thuật của máy chính: 300mm × 360mm × 380mm (W × D × H)

Mục tiêu (điện cực trên): 50mm × 0,1mm (D × H)

Mục tiêu: Au (Tiêu chuẩn)

Phòng mẫu: Kính borosilicate 160mm × 120mm (D × H)

Kích thước mục tiêu: Ф50mm

真空指示表： zui 高真空度： ≤ 4 x 10-2 mbar

Đồng hồ đo ion: zui Dòng điện lớn: 50mA

Hẹn giờ: zui Thời gian dài: 0-360S

Van chân không mini: Có thể kết nối ống φ3mm

Có thể đi qua khí: nhiều loại

điện áp cao zui: -1600 DCV

Bơm cơ khí: Cấu hình tiêu chuẩn 2L/S (VRD-8 trong nước)

Tính năng&Công dụng:

ETD-800 Sử dụng:

Chuẩn bị mẫu kính hiển vi điện tử quét (SEM) thích hợp cho phòng thí nghiệm gương điện.

Tính năng:

Có thể đạt được lớp phủ của các hạt mịn bằng cách thay thế các mục tiêu khác nhau (vàng, bạch kim, bạc, v.v.).

Thao tác một chuỗi, sử dụng thuận tiện.

ETD-900M Sử dụng:

Chuẩn bị mẫu kính hiển vi điện tử quét (SEM) thích hợp cho phòng thí nghiệm gương điện, sản xuất điện cực thí nghiệm cho vật liệu không dẫn.

Tính năng:

1. Đơn giản, kinh tế, đáng tin cậy và xuất hiện tinh tế.

2, Điều chỉnh dòng chảy phún xạ và áp suất buồng chân không để kiểm soát tốc độ của lớp phủ và kích thước của các hạt.

3, Nút khởi động thủ công SETCLASMA có thể được đặt trước áp suất và dòng điện phún xạ để tránh thiệt hại không cần thiết cho màng.

4. Bảo vệ chân không có thể tránh chân không quá thấp gây ra ngắn mạch cho thiết bị.

5, đồng thời có thể đạt được lớp phủ của các hạt mịn hơn bằng cách thay thế các mục tiêu khác nhau (vàng, bạch kim, iridium, bạc, đồng, v.v.).

6, Bằng cách đi qua các loại khí trơ khác nhau để đạt được lớp phủ tinh khiết hơn.