Silane là sản phẩm vật liệu mới quan trọng, được sử dụng rộng rãi trong màn hình LCD phẳng, chất bán dẫn, năng lượng mặt trời và các ngành công nghiệp khác, với sự phát triển của chất bán dẫn Trung Quốc và các ngành công nghiệp khác, nhu cầu trong nước về silane ngày càng tăng, nhưng vì công nghệ sản xuất silane trong nước đang ở giai đoạn khởi đầu, làm thế nào để phân tích độ tinh khiết của silane là một chủ đề mà các nhà sản xuất khác nhau cần phải đối mặt
Như chúng ta đã biết, phân tích khí có độ tinh khiết cao là một quá trình phức tạp và là một trong những khó khăn của phân tích sắc ký; Silane do tính chất vật lý đặc thù của nó, độ khó phân tích của nó có thể được mô tả là rất khó khăn, không chỉ cần máy dò nhạy cảm cao, mà còn để giải quyết vấn đề đốt cháy silane oxy.GC-9560-HG Helium Ionized khí sắc kýVượt qua nhiều khó khăn kỹ thuật trong quá trình phân tích silan, sử dụng máy dò ion hóa heli có độ nhạy cao, được trang bị hệ thống lấy mẫu silan chuyên dụng, hoàn thành tốt việc phân tích các tạp chất cấp ppb trong silan.

Tiêu chuẩn áp dụng:

• GB/T 15909-2009 Khí silane cho ngành công nghiệp điện tử

GC-9560-HG Máy sắc ký khí ion hóa heli để phân tích silaneThích hợp cho việc phát hiện các tạp chất dấu vết trong khí có độ tinh khiết cao và khí được sử dụng trong ngành công nghiệp điện tử, nồng độ phát hiện nhỏ zui có thể lên tới 5 ppb. Thiết bị được trang bị đầu dò ion hóa helium nhạy cảm cao, sử dụng công nghệ cắt trung tâm của Huaai * và van lấy mẫu được trang bị đều là van nhập khẩu với đường dẫn khí bảo vệ thổi; Toàn bộ máy thông qua thiết kế hộp đa cột, các cột sắc ký khác nhau có thể kiểm soát nhiệt độ riêng biệt, zui tối ưu hóa điều kiện tách ở mức tối đa, và thuận tiện cho việc xử lý lão hóa các cột sắc ký khác nhau, thuận tiện cho việc bảo trì dụng cụ; Thiết bị được trang bị hệ thống điều chỉnh tự động áp suất mẫu, khắc phục lỗi phân tích do khối lượng mẫu không lớn do các lực lượng khác nhau gây ra do trọng lượng phân tử khác nhau.

Một,GC-9560-HG Máy sắc ký khí ion hóa heli để phân tích silaneLợi thế tính năng:
Công nghiệp khí là ngành công nghiệp cơ bản của nền kinh tế quốc dân, là "máu" của sản xuất công nghiệp, với sự phát triển nhanh chóng của nền kinh tế quốc dân, nhu cầu về khí có độ tinh khiết cao và khí được sử dụng trong công nghiệp điện tử cũng tăng nhanh. Việc phát hiện các tạp chất theo dõi là một liên kết quan trọng để sản xuất khí có độ tinh khiết cao và khí công nghiệp điện tử, và phân tích các tạp chất theo dõi luôn là một khó khăn trong phân tích sắc ký, dẫn nhiệt truyền thống và các máy dò sắc ký khác không có khả năng phân tích khí có độ tinh khiết cao.
Máy dò ion hóa Helium xả xung (PDHID) là một loại máy dò đa năng có độ nhạy cao, đáp ứng cao với hầu hết các hợp chất vô cơ và hữu cơ, đặc biệt thích hợp để phân tích khí có độ tinh khiết cao và có khả năng phát hiện đến ng/g (ppb). Tiêu chuẩn quốc gia mới được thành lập quy định rằng máy dò ion hóa heli được sử dụng để thay thế các máy dò dẫn nhiệt ban đầu và các máy dò khác, Huaai Chromatography đảm nhận nhiệm vụ soạn thảo chính của tiêu chuẩn quốc gia "Phân tích khí Helium Ionized Gas Chromatography" cũng đang được phát triển và sẽ sớm được công bố chính thức để thực hiện.

PDHID Giới hạn phát hiện tạp chất khí trong silane (ppb)

Hai,GC-9560-HGCấu hình hệ thống:

(1) GC-9560-HG Helium ion hóa khí sắc ký (2) Helium ion hóa Detector (PDHID)

(3) Hệ thống cắt trung tâm (4) Hệ thống lấy mẫu khí điện tử

(5) Hệ thống hấp phụ và giảm oxy (6) Máy lọc khí Helium

(7) Van giảm áp đặc biệt cho tàu sân bay (8) Van lấy mẫu đặc biệt không có khối lượng chết
(9) Bộ lọc khí mang (10) Bộ lọc mẫu

(11) Cột sắc ký (12) Khí tiêu chuẩn
(13) Helium có độ tinh khiết cao (độ tinh khiết>99,999%) (14) GC-9560V4.0 phiên bản sắc ký phản chiếu làm việc

• Công nghệ cắt trung tâm để đạt được phân tích đầy đủ khí:
  GC-9560-HG Helium Ionized Gas Chronometer sử dụng công nghệ cắt trung tâm và thổi ngược của nhiều van đa cột, hệ thống này bao gồm nhiều van mười chiều loại thổi và nhiều sắc ký kết hợp, tự động điều khiển quá trình lấy mẫu, chuyển đổi, cắt và thổi ngược của nó thông qua chương trình thời gian đặt tại trạm làm việc.

• Loại thổi Van mười chiều
  GC-9560-HGTất cả đều được trang bị van mười chiều kiểu thổi với đường dẫn khí bảo vệ do VICI nhập khẩu ban đầu sản xuất, mặt phẳng van luôn ở trong bầu không khí mang khí, tránh sự xâm nhập của không khí vào mẫu khi lấy mẫu và chuyển đổi, cải thiện đáng kể độ nhạy và độ chính xác của phát hiện.
• Công nghệ cột sắc ký với chế biến đặc biệt
  (1) Ống cột sắc ký sử dụng vật liệu thép không gỉ 316L, và các bức tường bên trong của ống được xử lý thụ động để ngăn chặn sự hấp thụ và kéo carbon monoxide và các vấn đề khác
  (2) Gánh nặng của cột sắc ký được xử lý đặc biệt để tránh việc tạo ra các vấn đề như hấp phụ oxy
  (3) Cột cắt sẵn sử dụng sắc ký Huai để có được công nghệ cột đầy thu nhỏ của quốc gia, cải thiện toàn diện việc tách mẫu, cân nhắc việc tách, ổn định và nhanh chóng

• Hệ thống tách hộp đa cột
  Các mẫu khí có nhiều dạng khác nhau, đồng thời có nhiều tạp chất và cần nhiều cột sắc ký khác nhau để hoàn thành việc tách tất cả các tạp chất trong mẫu khí. Vì nhiệt độ làm việc của zui jia cho các cột sắc ký khác nhau là khác nhau, rất khó để tìm thấy nhiệt độ làm việc zui jia phù hợp với các cột sắc ký khác nhau trong cùng một hộp. GC-9560-HG sử dụng thiết kế hộp đa cột, giải quyết hiệu quả các vấn đề khó khăn mà các cột sắc ký khác nhau đòi hỏi nhiệt độ hoạt động khác nhau.
  Trong bảo trì hàng ngày của dụng cụ, vì nhiệt độ kích hoạt của cột sắc ký của các gánh khác nhau như sàng phân tử 5A khác nhau, nếu lão hóa được thực hiện trong cùng một hộp cột đòi hỏi phải loại bỏ cột sắc ký không chịu được nhiệt độ cao, sau đó kích hoạt riêng. Thiết kế hộp đa cột của GC-9560-HG có thể giải quyết hiệu quả các vấn đề trên, các cột sắc ký khác nhau có thể được kích hoạt riêng biệt trong các hộp cột khác nhau, tránh vấn đề cần tháo dỡ và lắp đặt cột sắc ký trong công việc bảo trì dụng cụ hàng ngày.
• Máy lọc khí Helium HP-2:
  GC-9560-HGSử dụng helium có độ tinh khiết cao làm khí mang, độ tinh khiết của helium ảnh hưởng trực tiếp đến độ nhạy phát hiện tạp chất của toàn bộ dụng cụ. Các thử nghiệm đã chứng minh rằng độ tinh khiết của khí mang được sử dụng để phân tích khí có độ tinh khiết cao ít nhất một bậc độ lớn hơn độ tinh khiết cơ bản của mẫu khí.
  HP-2 Helium Purifier là một loại máy lọc khí chuyên dụng được sản xuất bởi công ty VICI, ma trận tinh khiết của nó là một hợp kim hấp phụ không bay hơi, bề mặt của các hạt hấp phụ có một lớp màng oxy hóa cần được kích hoạt bằng cách nung nóng, quá trình kích hoạt phải được hoàn thành trong môi trường khí chân không hoặc trơ, điều này có thể cho phép helium khuếch tán tự do ở giữa, ngăn chặn sự hình thành của các lớp tinh khiết oxy, nhưng cũng có thể hấp thụ các tạp chất khí. Vật liệu hấp phụ của HP có độ ổn định nhiệt tốt, bao gồm hai phạm vi kiểm soát nhiệt độ.
  Khí tinh khiết: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Áp suất hoạt động lớn: 1000Psi
  Loại bỏ khí: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Đợi đã
  Nồng độ dư: ≤10ppb
• Hệ thống điều chỉnh áp suất mẫu
  Máy sắc ký truyền thống sử dụng phương pháp kiểm soát dòng chảy ở đầu ra của van mẫu để kiểm soát thể tích mẫu trong ống định lượng, thử nghiệm đã chứng minh phương pháp này có lỗi phân tích lớn.
  Lấy ví dụ phân tích hydro có độ tinh khiết cao: khí tiêu chuẩn là sáu tạp chất được cấu hình trong heli, trong khi khí mẫu là sáu tạp chất trong hydro; Do trọng lượng phân tử của heli và hydro khác nhau, điều này dẫn đến trường hợp lượng mẫu không giống nhau ở cùng một dòng chảy.
  GC-9560-HGTrang bị hệ thống điều chỉnh áp suất, khắc phục các vấn đề về lượng mẫu không cao do sức mạnh khác nhau gây ra, đảm bảo tính chính xác của dữ liệu.
• Không có van lấy mẫu khối lượng chết
  GC-9560-HG được trang bị van lấy mẫu đặc biệt không có khối lượng chết, sử dụng phương pháp lấy mẫu có bảo vệ thổi, tránh được vấn đề dư lượng không khí một cách hiệu quả, giảm ảnh hưởng của quá trình lấy mẫu đối với phân tích xuống mức thấp.
• Van giảm áp đặc biệt cho tàu sân bay
  Van giảm áp thông thường do sự hiện diện của khối lượng chết lớn, ảnh hưởng trực tiếp đến độ tinh khiết của khí mang sau khi đầu ra van giảm áp, gây ra nồng độ tạp chất cơ bản cao trong khí mang, do đó ảnh hưởng đến giới hạn phát hiện của toàn bộ hệ thống.
  GC-9560-HG Helium Ionized Gas Chronometer được trang bị van giảm áp bằng thép không gỉ hoàn toàn với chức năng điều chỉnh áp suất hai giai đoạn, giúp cải thiện đáng kể sự ổn định áp suất và đảm bảo sự ổn định của đường cơ sở, đồng thời giảm khối lượng chết trong thân van và cải thiện hơn nữa độ nhạy phát hiện.

GC-9560-HGCác biểu đồ hiệu ứng phân tích: