Thượng Hải HeCheng Instrument Sản xuất Công ty TNHH
Trang chủ>Sản phẩm>Lò nướng không oxy Photoclate Wafer
Lò nướng không oxy Photoclate Wafer
I. Tổng quan: Lò nướng không oxy wafer đóng gói hộp không oxy, lò không oxy hóa, khi làm việc, phòng làm việc được làm đầy với khí trơ CO2, N2, ngăn c
Chi tiết sản phẩm

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

Một. Tổng quan:
Lò không oxy wafer đóng gói hộp không oxy, lò không oxy hóa, trong khi làm việc, phòng làm việc được làm đầy với khí trơ CO2, N2, ngăn chặn vật liệu bị oxy hóa khi nướng. Sử dụng lò nướng không oxy hóa trong công nghiệp: IC đóng gói, LCD, Transistor, cảm biến, diode, dao động tinh thể thạch anh, bảng mạch tích hợp hỗn hợp...


II. Thông số kỹ thuật sản phẩm
1. Tên và mô hình: Lò nướng không oxy buồng đôi AO-2DSL FCNET (hỗ trợ chức năng trực tuyến mạng ONET-240)
2. Các chỉ số kỹ thuật chính:
2.1 Kích thước làm việc: W1000 * D500 * H610 * 2 mm
2.2 Nguồn điện: 380V 3φ50HZ 18KVA
2.3 Kiểm soát hàm lượng oxy<=100PPM.
2.4 Phạm vi nhiệt độ: RT (nhiệt độ phòng)+60 ~+300 ℃;
2.5 Độ đồng nhất nhiệt độ: ± 1,5%;
2.6 Tốc độ ấm lên: nhiệt độ phòng ~ 250 ℃, 45 phút (kiểm tra hộp rỗng). (Quy trình của khách hàng Nhiệt độ cao 300 ℃)
2.7 Làm mát bằng không khí: Làm mát trong vòng 100 phút có thể từ 250 ℃ đến 70 ℃


3. Cấu trúc hộp:
3.1 Lò nướng được lắp ráp từ phần thân hộp, phần tủ điều khiển điện, phần hệ thống sưởi điện và ống dẫn khí. Cấu trúc hợp lý, ngoại hình đẹp và hào phóng;
3.2 hàn argon toàn tuần, chịu nhiệt độ cao silicone ép, SUS304 # thép không gỉ điện nhiệt sản xuất, chống lại bàn chính nó tạo ra bụi nhỏ;
3.3 Vật liệu hộp: hộp bên ngoài sử dụng SS41 # tấm thép carbon trung bình sau khi xử lý muối màng phosphate hai lớp sơn chống bóng, có thể ngăn chặn bụi nhỏ;
3.4 Vật liệu mật bên trong: sử dụng tấm thép không gỉ gương dày 800 lần 2mm nhập khẩu SUS304 # hàng ngày, và làm sạch bằng soda kiềm, khử dầu để tránh nướng khi tạo ra particle;
3.5 Vật liệu thùng trung bình: sử dụng tấm thép không gỉ gương dày 800 lần 2mm nhập khẩu SUS304 # hàng ngày, và làm sạch bằng soda kiềm, khử dầu và hàn argon niêm phong chế biến (chống ô nhiễm).
3.6 Vật liệu cách nhiệt: bông nhôm silicat;
3.7 Làm mát bằng bánh sandwich: Làm mát bằng không khí bánh sandwich


4, Hệ thống kiểm soát nhiệt độ
4.1 Bộ điều khiển sử dụng màn hình cảm ứng PLC 2 trong 1 để điều khiển hai khoang hoạt động độc lập, chuyển đổi bất cứ lúc nào.
4. 2 Đo nhiệt độ: Áp dụng điện trở bạch kim lắp ráp đặc biệt;
4.3 Hệ thống điều khiển nitơ: Hệ thống điều khiển nitơ thông minh với đồng hồ đo lưu lượng kép.
5, Các biện pháp bảo vệ an toàn hoàn hảo: Bộ ngắt mạch rò rỉ//Bảo vệ quá nhiệt//Bảo vệ pha dưới//Bảo vệ hiện tại quá tải động cơ//Cảnh báo còi bất thường

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱



无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

Yêu cầu trực tuyến
  • Liên hệ
  • Công ty
  • Điện thoại
  • Thư điện tử
  • Trang chủ
  • Mã xác nhận
  • Nội dung tin nhắn

Chiến dịch thành công!

Chiến dịch thành công!

Chiến dịch thành công!