PfeifferỨng dụng bơm phân tử trong dây chuyền sản xuất LOW-E (Low Radiant Glass)
Low-E có tên đầy đủ là Low Emissivity (Kính phủ bức xạ thấp). Kính phản xạ nhiệt tương đối là một loại kính tiết kiệm năng lượng mới. Hiện nay trên thế giới phổ biến áp dụng công nghệ sơn phun chân không magnetron (phương pháp ngoại tuyến) để sản xuất kính Low-E. Pfeiffer của ĐứcBơm phân tửáp dụng thành công cho việc này.

Nguyên tắc: Thủy tinh được đặt theo chiều dọc trên kệ, được đưa vào môi trường chân không theo thứ tự cường độ 10-1 Pa, thông qua một lượng khí quá trình thích hợp (khí trơ Ar hoặc khí phản ứng O2, N2) và giữ chân không ổn định. Mục tiêu Ag, Si, v.v. được nhúng vào cathode và được đặt vào từ trường theo hướng ngang vuông góc với cathode để tạo thành mục tiêu điều khiển từ tính. Với mục tiêu điều khiển từ tính là cathode, cộng với nguồn DC hoặc AC, dưới tác động của điện áp cao, quá trình ion hóa khí xảy ra để tạo thành plasma. Trong đó, electron, dưới tác động chung của điện trường và từ trường, thực hiện chuyển động xoắn ốc tốc độ cao, va chạm với các phân tử khí, tạo ra nhiều ion dương và electron hơn; Các ion dương, dưới tác động của điện trường, va chạm với mục tiêu cathode sau khi đạt được một lượng năng lượng nhất định, và mục tiêu bị bắn tung tóe được lắng đọng trên tấm nền thủy tinh để tạo thành một màng mỏng. Để tạo thành một lớp màng đồng nhất và nhất quán, mục tiêu cathode di chuyển qua lại gần bề mặt kính. Để có được màng nhiều lớp, phải sử dụng nhiều cathode, mỗi cathode di chuyển qua lại trên bề mặt thủy tinh, tạo thành một độ dày màng nhất định.

PFEFFER của Đức đã giành được sự ủng hộ của khách hàng trong thị trường LOW-E nhờ hơn 120 năm kinh nghiệm sản xuất chân không và dịch vụ hậu mãi và hỗ trợ kỹ thuật trên toàn thế giới, Feng của Đức. VON ARDENNE là khách hàng điển hình nhất. PFEIFFERBơm phân tửDây chuyền sản xuất Loe - E được sử dụng trong các ông trùm sản xuất thủy tinh Trung Quốc như kính Tín Nghĩa, Nam Phi.
PfeifferBơm phân tửƯu điểm:

• Nhiều tốc độ cho khách hàng lựa chọn, từ 1.000 đến 2.000 L/S
• Đối với H₂, Anh và Ar, CF₄Có tốc độ bơm cao
• Vị trí lắp đặt từ 0 đến 90 độ, 90 đến 180 độ
• Lưu lượng khí cao, ngay cả Ar, CF₄
• Bộ truyền động TC 1200 tích hợp có thể kết nối trực tiếp với nguồn điện
• Khả năng chống ăn mòn để lựa chọn
• Giao diện phong phú: RS-485 cũng như điều khiển từ xa; Tùy chọn Profibus hoặc Devicenet
• Xếp hạng IP 54 và Semi S2
• Hệ thống mang rôto ổn định và an toàn
• Chứng nhận UL, CSA và TUV
• Cài đặt đơn giản