Hệ thống kiểm tra độ phân giải không gian micron LIBS - MEEPLIBS
MEEPLIBS có thể thực hiện phân tích các yếu tố phân giải không gian ở quy mô micron, kết hợp với kính hiển vi truyền thống, kích thước tiêu chuẩn phân tích là 15 micron và 18 micron (zui nhỏ đến 4 micron), có thể được thử nghiệm trong môi trường khí quyển ở nhiệt độ phòng và trong một môi trường cụ thể.
Được sử dụng rộng rãi trong phân tích nguyên tố thời gian thực của độ phân giải không gian micron của vật liệu bán dẫn, vật liệu bảng điều khiển.
Tính năng hệ thống:
Nguồn sáng: Nguồn sáng tia cực tím 266nm
Chức năng định hình chùm tia laser với bộ suy hao phân phối, phần mềm năng lượng laser có thể điều chỉnh
Có thể nhận ra điều khiển nhiệt độ tự động của hệ thống phát hiện
Cấu hình camera trong hệ thống, người dùng có thể quan sát khu vực mẫu được kiểm tra trong thời gian thực
Cấu hình bảng điều chỉnh ba chiều điện để hiệu chỉnh vị trí tập trung laser, cải thiện độ chính xác lặp lại của thí nghiệm, có thể đo chuỗi mẫu
Có thể phân tích tất cả các yếu tố bao gồm trọng lượng nhẹ zui
Không cần tiền xử lý mẫu, phát hiện nhanh