Công nghệ chùm tia triion

Các bộ phận chùm tia ba ion vuông góc với bề mặt bên của mẫu, vì vậy khi tiến hành bắn phá chùm tia ion, mẫu (cố định trên giá đỡ mẫu) không cần phải thực hiện chuyển động xoay để giảm hiệu ứng chiếu/che khuất, điều này cũng đảm bảo dẫn nhiệt hiệu quả, giảm biến dạng nhiệt của mẫu trong quá trình xử lý.
Công nghệ
Các chùm ba ion hội tụ tại điểm giữa của mép vách ngăn để tạo thành mặt quạt bắn phá 100 °, tiếp tuyến với mẫu tiếp xúc phía trên vách ngăn (khoảng 20-100 μm ở đầu trên của mẫu cao hơn vách ngăn) cho đến khi bắn phá đến khu vực mục tiêu bên trong mẫu. Súng ion được thiết kế mới có thể tạo ra tốc độ mài chùm ion lên tới 300 μm/h (Si10 kV, 3,0 mA, chiều cao cắt 50 μm). Hệ thống chùm triion độc đáo của Leica cho phép cắt phần chất lượng cao tuyệt vời và tốc độ cao, bề mặt cắt rộng và sâu, giúp tiết kiệm đáng kể thời gian làm việc. Phần cắt chất lượng cao có sẵn thông qua công nghệ độc đáo này với kích thước khu vực lên đến>4 × 1mm

Leica EM TIC 3X - Các tính năng sáng tạo trong thiết kế và vận hành

Thông lượng cao, tăng lợi ích chi phí
›› Phần cắt chất lượng cao có sẵn, kích thước khu vực lên đến>4 × 1mm
›› Thiết kế bàn đa dạng có thể chứa ba mẫu cùng một lúc
›› Tốc độ mài ion cao, vật liệu Si 300μm/h, chiều cao cắt 50μm, có thể đáp ứng yêu cầu thông lượng cao trong phòng thí nghiệm
›› Có thể chứa kích thước mẫu tối đa 50 × 50 × 10 mm
›› Bảng mẫu có thể sử dụng rất đa dạng, đơn giản và dễ sử dụng, độ chính xác cao
›› Dễ dàng và chính xác để thực hiện hiệu chuẩn lắp đặt mẫu trên tàu sân bay và điều chỉnh vị trí tương đối với vách ngăn
›› Xử lý đơn giản bằng màn hình cảm ứng mà không cần kỹ năng vận hành đặc biệt
›› Quá trình xử lý mẫu có thể được theo dõi trong thời gian thực và có thể được quan sát bằng gương hoặc camera HD-TV
› › Đèn LED chiếu sáng để dễ dàng quan sát mẫu và hiệu chuẩn vị trí
›› Hệ thống bơm chân không tích hợp, tách rời được thiết kế để cung cấp tầm nhìn quan sát không rung
›› Nó có thể được thực hiện trên phần cắt phẳng đã chuẩn bị để tăng cường độ lót, tức là xử lý khắc chùm ion.
› › Tải lên hoặc tải xuống các thông số và chương trình có sẵn thông qua USB
›› Phù hợp với hầu hết mọi mẫu vật liệu
›› Với bảng mẫu đông lạnh, vách ngăn và nhiệt độ mẫu có thể được giảm xuống -150 ° C

Đa dạng mẫu Carrier Table

Hầu như phù hợp với các mẫu kích thước khác nhau và phù hợp với nhiều mục đích sử dụng. Với một người giữ mẫu, bạn có thể hoàn thành Pre-Mechanical Preparation (Leica EM TXP) để cắt chùm ion (Leica EM TIC 3X) và SEM Mirror trước khi đặt vào hộp đựng mẫu để kiểm tra tiếp theo.

Tăng cường độ lót

Sau khi cắt chùm ion, không cần lấy mẫu, với cùng một tàu sân bay mẫu cũng có thể tăng cường độ lót của mẫu, có thể tăng cường cấu trúc liên kết trước các pha khác nhau trong mẫu (chẳng hạn như ranh giới hạt)

Độ chính xác cao

Bây giờ, cấu trúc chi tiết ngày càng nhỏ trong các mẫu đang dần thu hút sự chú ý. Và việc thu được các phần bằng cách cắt, chẳng hạn như thu được cấu trúc lỗ TSVia rất nhỏ, đã trở nên dễ dàng. Tất cả các bảng mẫu được thiết kế để đạt được độ chính xác hiệu chuẩn vị trí mẫu ± 2μm. Không chỉ độ chính xác điều khiển của bàn mẫu có thể đạt được công việc hiệu chuẩn vị trí mục tiêu chính xác như vậy, hệ thống quan sát cũng có thể quan sát chi tiết mẫu có kích thước tối thiểu khoảng 3 μm để xác định mục tiêu chính xác. Để giúp quan sát mẫu tốt hơn khi định vị, nguồn sáng vòng LED 4 phân đoạn hoặc ánh sáng đồng trục LED giúp người dùng có được hình ảnh sắc nét từ gương hoặc camera HD-TV.
Vì máy bơm chân không được tích hợp bên trong thiết bị, không cần phải giải phóng một không gian riêng biệt nữa. Nhờ thiết kế tách rời của máy bơm chân không, tầm nhìn quan sát sẽ không bị xáo trộn bởi rung động do máy bơm chân không tạo ra trong quá trình chuẩn bị mẫu.