Tổng quan

Các nhà máy sản xuất chất bán dẫn, trung tâm công nghệ nano, nhà máy nano và các trung tâm sản xuất và nghiên cứu chính xác khác thường kết hợp phòng sạch với hệ thống mặt đất giả để đáp ứng các yêu cầu phức tạp về cơ sở vật chất (đường ống, cáp, đường ống dẫn khí, v.v.) và duy trì các tiêu chuẩn làm sạch nghiêm ngặt. Loại mặt đất này không thích hợp cho các thiết bị sản xuất, phát hiện và đo lường nhạy cảm với rung động. Mặt đất di động không thể cung cấp môi trường rung động yên tĩnh cần thiết cho các công cụ này. Đảo Quiet của TMC cung cấp một giải pháp sáng tạo để thay thế một phần của khu vực mặt đất hoạt động bằng một "Đảo yên tĩnh" được cố định trên mặt đất bên dưới. Quiet Island bao gồm đỉnh của một phòng sạch tương thích và một cấu trúc hỗ trợ ứng dụng và trang web cụ thể.

Chống rung

Các yếu tố hỗ trợ chính và công nghệ cốt lõi của Đảo Quiet ** đều được tích hợp trong Hệ thống khử rung chủ động STACIS III. Hệ thống hỗ trợ khử rung quán tính "cứng" này lý tưởng cho bất kỳ thiết bị nhạy cảm rung nào, cho phép các công cụ như vậy hoạt động theo tiêu chuẩn cao ** trong môi trường ồn ào. STACIS III tương thích với các công cụ gia công wafer tự động, các công cụ hình ảnh chùm tia điện tử có độ phân giải cao, các công cụ phay chùm ion và bất kỳ công cụ nào có hệ thống cách ly rung động nội bộ thụ động hoặc chủ động (xem sách trắng của chúng tôi về xếp chồng các bộ cách ly rung động chủ động trên bộ cách ly rung động chủ động). Ngoài ra, nó cung cấp ** hiệu suất cách ly rung động trong dải tần số rộng *. Và thiết kế "cài đặt cứng" rất cứng, vì vậy đối với các công cụ cao hơn, nặng hơn và nhẹ hơn, sẽ không có vấn đề ổn định.

Riser và hỗ trợ

Riser cực kỳ mạnh mẽ và bền bỉ để hỗ trợ bộ cách ly rung STACIS được thiết kế bởi đội ngũ kỹ thuật giàu kinh nghiệm của TMC và được sản xuất bởi nhà máy ISO 9001 của chúng tôi theo tiêu chuẩn cao và thông số kỹ thuật được chứng nhận hàn. Mỗi Quiet Island được thiết kế cẩn thận để phù hợp với nhiều chiều cao mặt đất di động, hình học mặt đất bên dưới và kích thước công cụ. Với hàng ngàn thiết bị hỗ trợ hơn 200 mẫu thiết bị khác nhau trên toàn thế giới, TMC có nhiều kiến thức và kinh nghiệm để thiết kế các cấu trúc hỗ trợ đáp ứng STACIS và nhu cầu của cơ sở của bạn.

Nền tảng cứng nhắc

Nền tảng này bao gồm một lớp sandwich dày 4 inch (100 mm) được thiết kế và sản xuất bởi TMC, trong đó các tấm được kẹp xung quanh một vật liệu lõi nhẹ, không nén, giảm xóc. Hiệu ứng xếp lớp của các tấm thép cứng và lõi được liên kết với epoxy vào một đĩa thép không gỉ liền mạch cung cấp độ cứng và giảm xóc cấu trúc rất cao. Mặt cắt ngang lớn và hàm lượng thép tạo ra độ cứng tổng thể rất cao. Trên cùng và hai bên là một vỏ thép không gỉ một mảnh liên tục để giữ cho nó sạch sẽ, đẹp và toàn vẹn. TMC có thể thiết kế và sản xuất các nền tảng cho các ứng dụng cụ thể theo yêu cầu, bao gồm các vết cắt, hình dạng đặc biệt, lỗ cố định và bu lông vòng nâng.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Ưu điểm của Quiet Island

Sử dụng công nghệ khử rung áp điện chủ động của STACIS - TMC Industries ** Thiết kế "gắn cứng" và cách ly rung bắt đầu ở 0,6 Hz tương thích với các công cụ được xây dựng trong cách ly rung.

Tính linh hoạt của mô-đun, tùy chỉnh và định vị lại - mỗi nền tảng được điều chỉnh phù hợp với ứng dụng của khách hàng, nhưng không giống như nền tảng bê tông, các nền tảng này có thể dễ dàng được cấu hình lại nếu các công cụ hoặc đặc điểm mặt đất thay đổi.

Chuyên môn - TMC có nhiều kinh nghiệm làm việc với các nhà sản xuất chất bán dẫn, các viện nghiên cứu khoa học và OEM siêu chính xác. Chúng tôi hiểu khách hàng và nhu cầu của họ. Chúng tôi tự thiết kế và sản xuất.

Hiệu suất

Trên Đảo Quiet cao 24 inch, 40 inch x 60 inch, trên giá đỡ STACIS 4 chỗ,
Tỷ lệ truyền được đo dưới đầu vào VC-C từ mặt đất

Thông số

Thông số kỹ thuật hiệu suất

Thiết kế cách ly rung, kích thước, môi trường và yêu cầu tiện ích

Thông số kỹ thuật của bộ điều khiển DC-2020

Tham số khác

KhácCấu hình Quiet Island

Các thiết bị lớn không có thông số kỹ thuật rung động xung quanh thường cần một giá đỡ cứng và ổn định tách biệt với mặt đất di động. Quiet Island cứng nhắc là giải pháp lý tưởng. Với cùng một đỉnh nền tảng hiệu suất cao, Đảo Quiet cứng nhắc cũng có thể được thiết kế tùy chỉnh cho bất kỳ chiều cao nào, phòng sạch sàn di động với bất kỳ hình dạng hình học nào của mặt đất bên dưới và nhiều kích cỡ công cụ khác nhau. TMC cung cấp một loạt các loại trụ cột khác nhau để đáp ứng các nhu cầu khác nhau, dẫn đến các giải pháp mô-đun, linh hoạt để định vị lại và nâng cấp cụ thể cho thiết bị và nhà máy.

Áp dụng ảnh

Kể từ khi cài đặt trên Quiet Island của chúng tôi ® Sự phức tạp, nhạy cảm và giá trị của thiết bị trên nền tảng mặt đất cơ bản, chúng tôi không tạo ra một danh mục tiêu chuẩn để đặt hàngKhông.

Chúng tôi tin rằng mỗi nền tảng nên được thiết kế tùy chỉnh cho các ứng dụng cụ thể. Các bước đặt hàng được đề xuất như sau:

▪ Hãy cho chúng tôi biết thiết bị hoặc dụng cụ bạn muốn cách ly. Vì chúng tôi đã cài đặt hàng ngàn thiết bị, chúng tôi có thể đã có thiết kế nền tảng đáp ứng yêu cầu ứng dụng của bạn. Ngoài ra, chúng tôi giữ liên lạc chặt chẽ với các nhà sản xuất công cụ Stepper, Aligner, SEM và các nhà sản xuất công cụ khác, vì vậy chúng tôi biết ** kích thước, hình dạng, thay đổi trọng lượng và thông số kỹ thuật rung mặt đất mới.

▪ Hoặc bạn có thể muốn một nền tảng phù hợp với hệ thống lưới mặt đất đang hoạt động. Khách hàng thường chọn nền tảng 47 x 47 inch (1.190 x 1.190 mm) để thay thế gạch lát sàn chẵn.

▪ Hãy cho chúng tôi biết độ cao của mặt đất sự kiện của bạn cao hơn mặt đất nền vững chắc.

▪ Vui lòng mô tả hoặc cung cấp cho chúng tôi một hình minh họa cho thấy bất kỳ mô hình lỗ nào trong hình học của mặt đất cơ bản hoặc dầm thép/tấm lưới của bạn.

▪ Vui lòng cung cấp cho chúng tôi dữ liệu rung động mặt đất hoặc thảo luận với chúng tôi về cách sắp xếp các phép đo này.

▪ Xem xét độ nhạy rung của thiết bị. Thiết kế thanh chống cứng nhắc, không cộng hưởng của chúng tôi cung cấp hỗ trợ đầy đủ cho nhiều công cụ. Các ứng dụng nhạy cảm hơn sẽ yêu cầu hỗ trợ không khí hoặc áp điện