Thương hiệu: GATAN

Tên Mô hình: Hệ thống đo dòng cảm ứng chùm tia điện tử Gatan SmartEMIC

Hãng sản xuất: GATAN Corporation

Nhà phân phối: Công ty TNHH Oubo Tong

Giới thiệu sản phẩm toàn diện:

Giới thiệu chức năng sản phẩm:

Hệ thống phân tích EBIC, có thể điều khiển phần mềm hoàn toàn tự động thu thập tín hiệu dòng điện cảm ứng chùm điện tử (EBIC) trong thời gian thực, thu được thông tin hình ảnh EBIC, cũng có thể thu được thông tin đường cong IV, zui cuối cùng có thể kiểm tra vị trí kết nối PN, chiều rộng, chiều dài khuếch tán thiếu tử, vị trí điểm thất bại của vật liệu hoặc thiết bị, được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực bán dẫn điện tử.

Tính năng hệ thống sản phẩm:

Hệ thống EBIC hiệu suất cao, tiếng ồn mặt đất, thực hiện các phép đo EBIC định lượng. Phần mềm phân tích thân thiện với giao diện chạy trên nền tảng phần mềm DigitalMicrograph.

Hệ thống SmartEBIC cho SEM bao gồm:

• Bộ khuếch đại EBIC được điều khiển bằng máy tính, sạc pin

• Ghế mẫu EBIC (ASH) và được trang bị đầu dò vonfram có thể điều chỉnh để tiếp xúc với máy tính để bàn. Với bộ chuyển đổi Gatan thích hợp, bạn cũng có thể tải mẫu bằng khóa không khí. *

• Giao diện với bàn mẫu SEM

• Liên kết ổ cắm và 4 liên kết cáp BNC loại, tiếng ồn thấp này trống feed, thích hợp cho EBIC và điện tử beam stream đo lường

• Hệ thống điều khiển chùm tia điện tử kỹ thuật số DigiScan II với công nghệ Fireware. Nó bao gồm hai đầu vào analog để thu thập hình ảnh chất lượng nhiếp ảnh cùng một lúc và linh hoạt để kiểm soát cường độ pixel, thời gian dừng tại mỗi điểm, xoay quét và nhiều hơn nữa. Đối với một số SEM, nó cũng có thể truyền đạt các thông số hoạt động của SEM thông qua phần mềm.

• Phần mềm Digital Micrography được trang bị plugin ứng dụng SmartEBIC tiên tiến để đo lường định lượng, phân tích thời gian thực và hậu xử lý các đường viền tuyến tính

Thông số kỹ thuật chính của sản phẩm:

SmartEBIC có thể thực hiện thu thập điều khiển tự động và phân tích định lượng tín hiệu EBIC:

Hệ thống kiểm soát quét:

Thu thập dữ liệu 1, 1-, 2-or 4-bit cung cấp dải động cực lớn

2, Độ phân giải quét từ 16 x 1 đến 8000 x 8000 pixel

3, thời gian dừng chùm tia điện tử, có thể điều chỉnh từ 0,5 ms/pixel đến 300 ms/pixel

Tự động điều chỉnh kích thước hiển thị hình ảnh, làm cho quá trình thử nghiệm EBIC thuận tiện hơn

* 5, cấu hình bộ điều khiển Digi Scan, điều khiển phần mềm thời gian thực thu thập hoàn toàn tự động, có thể phân tích định lượng tín hiệu khi thu thập tín hiệu EBIC mà không cần xử lý thêm,

*6, thông tin hình ảnh EBIC có sẵn và thông tin đường cong IV cũng có sẵn.

Kiểm soát tiếng ồn:

1. Bàn mẫu liên kết EBIC được thiết kế đặc biệt

2. Chế độ cuộn dây đồng trục

3. Pin axit chì có thể tái sử dụng (thời lượng 15 giờ)

4. Có thể thay đổi độ lợi của bộ khuếch đại, tối ưu hóa tỷ lệ tín hiệu nhiễu và băng thông thu thập dữ liệu

5. Hai bộ lọc RC thứ nhất tùy chọn, bộ lọc low-pass hoặc high-pass

6. Chế độ phóng đại trôi thấp

Ngoài thời gian giao tiếp với PC, bộ vi xử lý của hệ thống sẽ tự động chuyển sang trạng thái ngủ

8. Công cụ xử lý hình ảnh phong phú. Bao gồm các công cụ Sharpening, Smooth Tool và Fourier Transform Tool.

Có thể phù hợp với công nghệ Lock-in (hệ thống này không cung cấp, hệ thống cấu hình như vậy sẽ không phân tích định lượng tín hiệu EBIC)

Theo dõi:

thông qua phần mềm. +/- 5V tại 12bit (1.22mV) để thu thập mô hình độ phân giải.

Tự động hóa:

Hệ thống tự động tối ưu hóa kích thước hiển thị của hình ảnh, cho phép duyệt hình ảnh thuận tiện hơn, ngay cả trong điều kiện cài đặt thông số bộ khuếch đại không tốt

Có thể được thiết lập tự động cho bù đắp/tăng cường của bộ khuếch đại

Phần mềm:

Đo chiều dài khuếch tán một chiều

Một loạt các công cụ phân tích quét bề mặt/quét dòng, bao gồm các công cụ phân tích toán học, các ứng dụng lọc và hơn thế nữa

Một loạt các tùy chọn sơ đồ hiển thị hình ảnh, bao gồm lớp phủ hình ảnh điện tử thứ cấp với hình ảnh EBIC

Ngôn ngữ lập trình giúp bạn viết phần mềm tùy chỉnh cho thử nghiệm của riêng bạn

Các lĩnh vực ứng dụng chính của sản phẩm:

Kiểm tra vị trí nút PN Chiều rộng Độ dài khuếch tán của vật liệu kim loại

Định vị điểm thất bại của vật liệu hoặc thiết bị

Kiểm tra mật độ sai lệch của vật liệu bán dẫn

Kiểm tra đặc tính IV

Ví dụ ứng dụng:

Ứng dụng I: Kiểm tra vị trí nút PN, chiều rộng, chiều dài khuếch tán ít con

Ứng dụng II: Định vị điểm thất bại của vật liệu hoặc thiết bị

Thương hiệu: GATAN

Tên Mô hình: Hệ thống đo dòng cảm ứng chùm tia điện tử Gatan SmartEMIC

Hãng sản xuất: GATAN Corporation

Nhà phân phối: Công ty TNHH Oubo Tong