Yêu cầu đo lường
Quét bảng điều khiển thăm dò hình dạng 3D bề mặt, trích xuất hồ sơ để đo độ mòn của đầu dò

Các tính năng chính Tổng quan
1. Đo lường không tiếp xúc, thiết kế tích hợp

2. Quét hình dạng 3D, xử lý dữ liệu đa chức năng
3. Thích hợp để đo lường chính xác các vật liệu khác nhau

4. Sử dụng đơn giản, lắp đặt và tháo gỡ dễ dàng

5. Tốc độ quét nhanh, độ chính xác định vị cao

6. Đảm bảo độ chính xác lặp lại ± 0,5 đến ± 1 μm

7. Độ ổn định cao và khả năng chống nhiễu mạnh

Kết quả đo lường
Chiều cao đầu dò khoảng 100μm trước khi mặc và khoảng 80μm sau khi mặc

Giải quyết vấn đề với thiết bị đo lường ở giai đoạn này

1. Có yêu cầu nhất định đối với vật liệu đo
2. Đo tiếp xúc, có thiệt hại cho vật liệu đo
3. Phạm vi đo nhỏ, vị trí không chắc chắn, khó xác định
4. Tốc độ đo chậm, độ chính xác thấp, lỗi đo lớn

5. Cấu trúc phức tạp và chi phí cao