Máy đo phổ khối điều khiển quá trình Atonarp Aston ™ Thông số kỹ thuật:

Công cụ phổ quát để kiểm soát quá trình thời gian thực Khí chống ăn mòn Chống ngưng tụ
Nền tảng phân tích phân tử tại chỗ cho sản xuất chất bán dẫn cung cấp dữ liệu thời gian thực, có thể hành động
Với nguồn ion hóa plasma, không có dây tóc, bền hơn
Có thể tích hợp hoàn toàn với các công cụ sản xuất số lượng lớn
Aston ™ Máy phân tích phổ khối quá trìnhLà một nền tảng mạnh mẽ có thể thay thế một loạt các công cụ truyền thống, cung cấp mức độ kiểm soát chưa từng có, bao gồm khắc quang, điện môi và dẫn điện và lắng đọng, làm sạch buồng, phù hợp buồng và loại bỏ.

Aston ™ Máy phân tích phổ khối quá trìnhThông số kỹ thuật

Atonarp Aston™ Ứng dụng: Phát triển lớn trong kiểm soát và tối ưu hóa quy trình bán dẫn, cải thiện sản lượng, thông lượng và hiệu quả của quy trình sản xuất chất bán dẫn
Aston ™ Nó là một máy đo phổ khối trực tuyến nhỏ gọn được thiết kế mạnh mẽ và bền bỉ hoàn toàn mới để giám sát và kiểm soát khí trong các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn và kiểm soát quy trình công nghiệp, độ chính xác định lượng cao và thời gian thực kết hợp với sản xuất mạnh mẽ và độ tin cậy, chẳng hạn như chất bán dẫn dry pump phân tích phát hiện khí thải để thực hiện giám sát trực tuyến, chẩn đoán.
CVD/ALD: Quá trình chuyển đổi oxit-nitride và phân tích thành phần
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: Xác định phân tử theo dõi


Nếu bạn cần tìm hiểu thêmAtonarp Aston ™ Khối phổ trực tuyếnChi tiết hoặc thảo luận, vui lòng tham khảo các phương thức liên lạc sau:
Thượng Hải Bá Đông: Diệp tiểu thư Đài Loan Bá Đông: Vương tiểu thư
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M:+86 1391-883-7267 (cùng số wechat) M:+886-939-653-958

Hiện nay một số thương hiệu đã tuyển dụng đại lý hợp tác, người có ý định hoan nghênh liên lạc với cô Bá Đông Diệp Thượng Hải
Bản quyền Bá Đông Thượng Hải, phiên bản tất truy cứu!